2024年度装置一覧と利用料金
装置の利用料金料金は各装置の利用時間（予約時間）に応じた時間課金従量制です。毎月の利用に応じた積算額を翌月請求させていただきます。＊ご予約は30分単...
装置一覧
10kV計測システム(パワーデバイス特性評価装置)
装置名 10kV計測システム 型番名 α150PW/2290-10, 2636B メーカー名 アポロウエーブ/テクトロニクス・ケースレーインスツルメ...
小型イオンシャワー(終点検出器付き イオンミリング)
装置名 終点検出器付き イオンミリング 型番名 10IBE-EPD_UoT-Y メーカー名 伯東 仕様 [ビーム電源]出力:100 V ~ 1400...
データ解析用PC
装置名 データ解析用PC 仕様 以下のデータ解析ソフトが利用できます。・多機能走査型X線光電子分光分析装置・分光エリプソメータ・走査型プローブ顕微鏡...
多機能走査型X線光電子分光装置
装置名 多機能走査型X線光電子分光装置 型番名 PHI VersaProbe ４ メーカー名 アルバック・ファイ 仕様 Al Kα モノクロX線源（...
電子線蒸着装置
装置名 電子線蒸着装置 型番名 EB-350T メーカー名 エイコー 仕様 到達圧力: 10-5 Pa台 蒸発源: 5 kW 5連EBガン 最大試...
デバイスシミュレータ
装置名 デバイスシミュレータ 型番名 ATHENA/ATLAS メーカー名 SILVACO 仕様 2次元プロセスシミュレーター ...
イオンミリング
装置名 イオンミリング 型番名 IM4000PLUS メーカー名 日立ハイテク 仕様 断面ミリングと平面ミリングに対応したハイブリッドタイプのイオン...
FIB-SEM
装置名 FIB-SEM 型番名 Helios NanoLab 600i メーカー名 FEI 仕様 電子とイオンの2種のソースにより、SEM観察を行い...
スパッタリング装置
装置名 スパッタリング装置 型番名 CFS-4EP-LL (i-miller) メーカー名 芝浦メカトロニクス 仕様 スパッタ方式: DC/RFマグ...
パターン投影リソグラフィーシステム
装置名 パターン投影リソグラフィーシステム 型番名 μPG501 メーカー名 Heidelberg instruments 仕様 光源: LED（波...
電子線描画装置
装置名 電子線描画装置 型番名 ELS-7500EX メーカー名 ELIONIX 仕様 電子銃エミッター: ZrO/W熱電界放射型 加速電圧: 5...
走査型プローブ顕微鏡(SPM)
装置名 走査型プローブ顕微鏡(SPM) 型番名 Dimension Icon メーカー名 Bruker 仕様 形状測定モード: タッピングモード, ...
ウェハーダイシングマシン
装置名 ウェハーダイシングマシン 型番名 DAD322 メーカー名 DISCO 仕様 ワークサイズ: φ6″切削可能範囲: 150mm送...
反応性イオンエッチング装置
装置名 反応性イオンエッチング装置 型番名 RIE-10NR メーカー名 サムコ 仕様 最大試料サイズ: 8インチウエハ対応高周波出力: 300W発...
半導体特性評価システム
装置名 半導体特性評価システム 型番名 B1500A メーカー名 キーサイト 仕様 IV測定、CV測定、高速パルスドIV測定に対応。B1530A高速...
パワーデバイス特性評価装置
装置名 パワーデバイス特性評価装置 型番名 B1505A メーカー名 キーサイト 仕様 高電圧・高電流のIV測定、CV測定に対応。電圧・電流特性： ...
IRエミッション顕微鏡
装置名 IRエミッション顕微鏡 型番名 THEMOS-1000 メーカー名 浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 仕様 半導体デバイス...
光電子分光装置
装置名 光電子分光装置 型番名 JPS-9010TR メーカー名 JEOL 仕様 Mg / Al ツインアノード X 線銃単色化 AlKa線（Ag ...
分光エリプソメータ
装置名 分光エリプソメータ 型番名 UVISEL Plus メーカー名 堀場製作所 仕様 PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい...
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