筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
装置名 イオンミリング 型番名 IM4000PLUS メーカー名 日立ハイテク 仕様 断面ミリングと平面ミリングに対応したハイブリッドタイプのイオン...
装置名 FIB-SEM 型番名 Helios NanoLab 600i メーカー名 FEI 仕様 電子とイオンの2種のソースにより、SEM観察を行い...