10kV計測システム(パワーデバイス特性評価装置)

装置名	10kV計測システム
型番名	α150PW/2290-10, 2636B
メーカー名	アポロウエーブ/テクトロニクス・ケースレーインスツルメンツ
仕様	最大10kVの電圧印加によるリーク電流、耐圧測定 200V,1Aの汎用IV測定（SMU:4ch） 4端子デバイス測定マニュアルプローバ試料サイズ：5㎜□～φ4インチステージ温度：室温～300℃
設置場所	総合研究棟B0022室