その他分析装置

分光エリプソメータ

装置名	分光エリプソメータ
型番名	UVISEL Plus
メーカー名	堀場製作所
仕様	PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい分光エリプソメーター測定波長：190～2100 nm（波長分解能力：2 nm) スポットサイズ：0.05, 0.1, 1mmφ（垂直入射時)を選択
設置場所	総合研究棟B0022室