IRエミッション顕微鏡
| 装置名 | IRエミッション顕微鏡 |
| 型番名 | THEMOS-1000 |
| メーカー名 | 浜松ホトニクス / TNSシステムズ / 東機通商 |
| 仕様 | 半導体デバイスの故障に起因する発光・発熱などをとらえて故障個所を特定する高解像度エミッション顕微鏡。赤外線画像の観測により、発熱分布（温度分布）の検出や、電流リーク箇所の同定が可能。発熱分布の時間依存性計測により、温度の時間的な広がりが観測可能。パワーデバイス特性評価装置B1505Aと組み合わせることでプローバーとして利用可能。 検出波長：3.7μm～5.1μm 最大視野：3cm x 2cm 最小視野：0.7mm x 0.7mm 最小空間分解能：2.8μm 雑音等価温度差：25mK 時間分解能：3μsec. ステージ温度：室温～200℃ |
| 設置場所 | 総合研究棟B0022室 |