電界放出型走査電子顕微鏡
| 装置名 | 電解放出型走査電子顕微鏡 |
| 型番名 | SU-8020 |
| メーカー名 | 日立ハイテク |
| 仕様 | 二次電子分解能: 1.0nm（加速電圧15kV,WD=4mm） 1.3nm（照射電圧1kV,WD=1.5mm） 照射電圧: 0.1～30kV 低倍率モード: 20～2,000倍（写真倍率） 高倍率モード: 100～800,000倍（写真倍率） SE/BSE信号可変方式 |
| 設置場所 | 共同研究棟C107 |
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