デバイスシミュレータ
| 装置名 | デバイスシミュレータ |
| 型番名 | ATHENA/ATLAS |
| メーカー名 | SILVACO |
| 仕様 | 2次元プロセスシミュレーター 2次元シリコン・デバイスシミュレーター 2次元先端材料・デバイスシミュレーター 3次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター |
| 設置場所 | 共同研究棟C107 |
装置一覧
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
| 装置名 | デバイスシミュレータ |
| 型番名 | ATHENA/ATLAS |
| メーカー名 | SILVACO |
| 仕様 | 2次元プロセスシミュレーター 2次元シリコン・デバイスシミュレーター 2次元先端材料・デバイスシミュレーター 3次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター |
| 設置場所 | 共同研究棟C107 |