電子顕微鏡 電界放出型走査電子顕微鏡 装置名電界放出型走査電子顕微鏡 型番名Su8020 メーカー名日立ハイテクノロジーズ 使用目的電界放出型電子銃とインレンズ検出器により超低電圧でnmオーダーの高解像度を実現する走査型電子顕微鏡。ナノ構造・材料の観察、測長も可能。 参考データへのリンク装置の詳細ページ 装置仕様 二次電子分解能1.0nm (加速電圧15kV,WD=4mm) 1.3nm (照射電圧1kV,WD=1.5mm) 照射電圧0.1～30kV 低倍率モード20～2,000倍 (写真倍率) 高倍率モード100～800,000倍 (写真倍率)
