反応性イオンエッチング装置

装置名	反応性イオンエッチング装置
型番名	RIE-10NR
メーカー名	サムコ
使用目的	Si、SiO2薄膜をフロロカーボンの反応性イオンにより高精度にエッチングできる。
参考データへのリンク	装置の詳細ページ