分析試料作製・前処理 FIB-SEM 装置名FIB-SEM 型番名Helios NanoLab 600i メーカー名FEI（日本エフイー・アイ株式会社） 使用目的SEM観察を行いながらFIB(集束イオンビーム)によるナノ構造の微細加工を実施することが出来る。TEM試料作製、3次元構造解析、元素分析も可能。 装置仕様 加速電圧1-30 kV (電子ビーム) 0.5-30 kV (イオンビーム) デポジション用ガスC, Ptガス 分析機能EDS
