リソグラフィー 電子線描画装置 装置名電子線描画装置 型番名ELS-7500EX メーカー名ELIONIX 使用目的電子ビームでレジスト上に微細なパターンを直接描画するための装置です。 蒸着やエッチング等のプロセスと組み合わせることによって、微細な金属電極パターン作製や溝パターン加工を行うことができます。 描画例へのリンク電子線描画装置の詳細ページへ 装置仕様 電子銃エミッターZrO/W熱電界放射 加速電圧５～50 kV 最小線幅10 nm 試料サイズ最大4インチウェハ ステージ移動範囲X:100 mm以上, Y:110 mm以上 重ね合わせ精度40 nm フィールド繋ぎ精度40 nm
