走査型プローブ顕微鏡 走査型プローブ顕微鏡(SPM) 装置名SPM装置 型番名Dimension ICON およびMultiMode 8 メーカー名ブルカー・エイエックスエス株式会社 使用目的試料表面のナノスケールでの形状を観察できます。 また、表面の粘弾性などの機械的特性の評価もできます。 アプリケーションモジュールを用いることで表面形状と同時に、電流分布、抵抗分布などの電気的特性の評価もできます。 参考データへのリンクDimension ICONの詳細ページへ MultiMode 8の詳細ページへ 装置仕様 Dimension ICON Multimode 8 変位検出方式 光コテ方式 光コテ方式 試料サイズ Φ210 mm (8インチウェハ) Φ15 mm XYスキャン領域 90 μm (クローズドループ) 10 μm (オープンループ) Zスキャン領域 10 μm (クローズドループ) 2.5 μm (オープンループ) 観察モード コンタクトモード タッピングモード 位相イメージ 磁気力 電気力 表面電位 CAFM TUNA SCM SSRM STM コンタクトモード タッピングモード 位相イメージ 磁気力 電気力 表面電位 CAFM TUNA SCM SSRM
