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デバイス特性

デバイス特性

半導体特性評価システム

装置名

半導体特性評価システム

型番名

B1599T

メーカー名

Agilent

使用目的

半導体デバイスアナライザーと4探針マニュアルプローバーによりI-V測定、C-V測定、高速パルスI-V測定等が可能。

装置仕様

I-V測定範囲

0.1fA~1A / 0.5µV~200V

タイムサンプリング

100µs

パルス最小測定幅

100µs (MCSMU)

容量測定周波数

1kHz~5MHz

パルス測定

波形生成分解能 10 ns
測定分解能 5ns