触針式表面段差計 装置名触針式表面段差計 型番名Alpha-Step D-500 メーカー名KLA-Tencor 使用目的試料表面の段差（膜厚）測定が可能。 装置仕様 測定長さ30 mm サンプルステージ直径140 mm サンプル厚さ(最大)20 mm 垂直測定レンジ（最大）1200 µm 垂直測定分解能0.038 nm (2.5 µm Range) 観察倍率×1, ×1.3, ×2, ×4
