筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
装置一覧
筑波大学微細加工プラットフォームでは、全国の大学・研究機関とともに所有する 先端的なナノテクノロジー研究設備の共用ネットワークを構築いたします。
理論計算・シミュレーション
分析試料作製・前処理
成膜装置
リソグラフィー
走査型プローブ顕微鏡
組立・パッケージング
その他加工装置
膜加工・エッチング
電子顕微鏡
デバイス特性
分光・表面分析
その他分析装置