イオンミリング
| 装置名 | イオンミリング |
| 型番名 | IM4000PLUS |
| メーカー名 | 日立ハイテク |
| 仕様 | 断面ミリングと平面ミリングに対応したハイブリッドタイプのイオンミリング装置 ＜断面ミリングホルダ＞ 使用ガス：Ar（アルゴン）ガス 加速電圧：0～6ｋV 最大ミリングレート（材料Si）：500μm/hr以上 最大試料サイズ：20（W）×12（D）×7（H）mm 試料移動範囲：X ±7mm 、 Y 0～＋3mm ＜平面ミリングホルダ＞ 使用ガス：Ar（アルゴン）ガス 加速電圧：0～6ｋV 最大試料サイズ：Φ50 × 25（H） mm 試料移動範囲：X 0～＋5mm |
| 設置場所 | プロジェクト棟104室 |