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装置一覧

FIB-SEM

FIB-SEM

装置名FIB-SEM
型番名Helios NanoLab 600i
メーカー名FEI
仕様電子とイオンの2種のソースにより、SEM観察を行いながらイオンビームによる加工を実施できます。TEM試料作製、元素分析もできます。
加速電圧：1-30kV（電子ビーム）
　　　　   0.5-30kV（Gaイオンビーム）
デポジション用ガス：C,Ptガス
分析機能：EDS
設置場所共同研究棟107室