走査型プローブ顕微鏡(SPM)
| 装置名 | 走査型プローブ顕微鏡(SPM) |
| 型番名 | Dimension Icon |
| メーカー名 | Bruker |
| 仕様 | 形状測定モード: タッピングモード, コンタクトモード 物性測定モード： 電気・磁気特性（EFM/SSRM/KPFM/MFM他） 機械特性（粘弾性/水平力） 試料サイズ：直径 <Φ150mm, 厚さ <10mm 最大スキャン範囲：XY 90μmx90μm, Z 10μm Z方向ノイズ：0.03nm RMS 測定環境：大気中, 液中（要相談） |
| 設置場所 | 共同研究棟C104 |