小型イオンシャワー(終点検出器付き イオンミリング)
装置名 終点検出器付き イオンミリング 型番名 10IBE-EPD_UoT-Y メーカー名 伯東 仕様 [ビーム電源]出力:100 V ~ 1400...
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
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装置名 終点検出器付き イオンミリング 型番名 10IBE-EPD_UoT-Y メーカー名 伯東 仕様 [ビーム電源]出力:100 V ~ 1400...