小型イオンシャワー(終点検出器付き イオンミリング)
装置名 終点検出器付き イオンミリング 型番名 10IBE-EPD_UoT-Y メーカー名 伯東 仕様 [ビーム電源]出力:100 V ~ 1400...
装置一覧
膜加工・エッチング
反応性イオンエッチング装置
装置名 反応性イオンエッチング装置 型番名 RIE-10NR メーカー名 サムコ 仕様 最大試料サイズ: 8インチウエハ対応高周波出力: 300W発...
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業