半導体特性評価システム
| 装置名 | 半導体特性評価システム |
| 型番名 | B1500A |
| メーカー名 | キーサイト |
| 仕様 | IV測定、CV測定、高速パルスドIV測定に対応。 B1530A高速測定ユニット付属 IV測定範囲: 0.1fA～1A/0.5μV～200V タイムサンプリング : 100μs パルス最小測定幅: 100μs(MCSMU) 容量測定 周波数範囲: 1kHz～5MHｚ パルスド測定 波形生成分解能: 10ns 測定分解能: 5ns |
| 設置場所 | 総合研究棟B0022室 |
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