プラズマエッチング

小型イオンシャワー(終点検出器付きイオンミリング)

装置名	終点検出器付きイオンミリング
型番名	10IBE-EPD_UoT-Y
メーカー名	伯東
仕様	[ビーム電源] 出力:100 V ~ 1400 V DC 電流範囲: 30 mA ~ 200 mA [終点検出装置] SIMS型四重極質量分析計終点検出装置
設置場所	総合研究棟B0022室