電子線蒸着装置
| 装置名 | 電子線蒸着装置 |
| 型番名 | EB-350T |
| メーカー名 | エイコー |
| 仕様 | 到達圧力: 10-5 Pa台 蒸発源: 5 kW 5連EBガン 最大試料サイズ: φ3インチ |
| ターゲット | Ti, Au, Ni, Cu, Pt |
| 設置場所 | 共同研究棟C309 |
装置一覧
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
| 装置名 | 電子線蒸着装置 |
| 型番名 | EB-350T |
| メーカー名 | エイコー |
| 仕様 | 到達圧力: 10-5 Pa台 蒸発源: 5 kW 5連EBガン 最大試料サイズ: φ3インチ |
| ターゲット | Ti, Au, Ni, Cu, Pt |
| 設置場所 | 共同研究棟C309 |