電子線描画装置
| 装置名 | 電子線描画装置 |
| 型番名 | ELS-7500EX |
| メーカー名 | ELIONIX |
| 仕様 | 電子銃エミッター: ZrO/W熱電界放射型 加速電圧: 5～50 kＶ 最小線幅: 10 nm 試料サイズ: 最大4インチ ステージ移動範囲: X:100 mm以上 Y:110 mm以上 重ねあわせ精度: 40 nｍ フィールド継ぎ精度: 40 nｍ |
| 設置場所 | 共同研究棟C107 |
装置一覧
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
| 装置名 | 電子線描画装置 |
| 型番名 | ELS-7500EX |
| メーカー名 | ELIONIX |
| 仕様 | 電子銃エミッター: ZrO/W熱電界放射型 加速電圧: 5～50 kＶ 最小線幅: 10 nm 試料サイズ: 最大4インチ ステージ移動範囲: X:100 mm以上 Y:110 mm以上 重ねあわせ精度: 40 nｍ フィールド継ぎ精度: 40 nｍ |
| 設置場所 | 共同研究棟C107 |