ウェハーダイシングマシン
| 装置名 | ウェハーダイシングマシン |
| 型番名 | DAD322 |
| メーカー名 | DISCO |
| 仕様 | ワークサイズ: φ6″ 切削可能範囲: 150mm 送り速度範囲: 0.1～100mm/s |
| 設置場所 | 共同研究棟C309 |
装置一覧
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
| 装置名 | ウェハーダイシングマシン |
| 型番名 | DAD322 |
| メーカー名 | DISCO |
| 仕様 | ワークサイズ: φ6″ 切削可能範囲: 150mm 送り速度範囲: 0.1～100mm/s |
| 設置場所 | 共同研究棟C309 |