反応性イオンエッチング装置
| 装置名 | 反応性イオンエッチング装置 |
| 型番名 | RIE-10NR |
| メーカー名 | サムコ |
| 仕様 | 最大試料サイズ: 8インチウエハ対応 高周波出力: 300W 発振周波数: 13.56MHz ガス種: CF4、CHF3、O2 |
| 設置場所 | 共同研究棟C309 |
装置一覧
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
筑波大学マテリアル先端リサーチインフラ事業
| 装置名 | 反応性イオンエッチング装置 |
| 型番名 | RIE-10NR |
| メーカー名 | サムコ |
| 仕様 | 最大試料サイズ: 8インチウエハ対応 高周波出力: 300W 発振周波数: 13.56MHz ガス種: CF4、CHF3、O2 |
| 設置場所 | 共同研究棟C309 |