触針式表面段差計
| 装置名 | 触針式表面段差計 |
| 型番名 | Alpha-Step D-500 |
| メーカー名 | KLA-TENCOR |
| 仕様 | 測定長さ: 30 mm サンプルステージ直径: 140 mm サンプル厚さ(最大): 20 mm 垂直測定レンジ（最大）: 1200 μm 垂直測定分解能: 0.038 nm (2.5 μm Range) 観察倍率: ×1, ×1.3, ×2, ×4 |
| 設置場所 | 共同研究棟C301 |
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