デバイス特性 半導体特性評価システム 装置名半導体特性評価システム 型番名B1599T メーカー名Agilent 使用目的半導体デバイスアナライザーと4探針マニュアルプローバーによりI-V測定、C-V測定、高速パルスI-V測定等が可能。 装置仕様 I-V測定範囲0.1fA～1A / 0.5µV～200V タイムサンプリング100µs パルス最小測定幅100µs (MCSMU) 容量測定周波数1kHz～5MHz パルス測定波形生成分解能 10 ns 測定分解能 5ns
