リソグラフィー

パターン投影リソグラフィーシステム

装置名	パターン投影リソグラフィーシステム
型番名	µPG501
メーカー名	Heidelberg Instruments
使用目的	デジタルミラー素子(DMD)を用いることでパターン投影し、クロムマスクブランクやレジスト塗布基板に最小1 µmの回路パターンを超高速で作成できる。
参考データへのリンク	装置の詳細ページ