パターン投影リソグラフィ・ダイシング テーマ:電極パターンの形成 受託内容:レジストパターンに、EB蒸着法により電極を堆積し、リフト法で電極パターンを形成しました。 テーマ:方向性結合導波路の形成 テーマ:表面形状の観察