テーマ:微細電極パターンの形成

受託内容:カーボンナノチューブの電気特性評価用に、極細の電極パターンを形成しました。EB露光によりレジストパターンを形成し(左図)、その後、スパッタ法により電極を堆積してリフトオフ法で電極パターンを形成します(右図)。
利用事例

受託内容:カーボンナノチューブの電気特性評価用に、極細の電極パターンを形成しました。EB露光によりレジストパターンを形成し(左図)、その後、スパッタ法により電極を堆積してリフトオフ法で電極パターンを形成します(右図)。