FIB-SEM テーマ:SETナノギャップ構造の断面観察評価 受託内容:金メッキにより形成した2nmのギャップと25個の金原子で形成されたアイランドからなる単電子トランジスタをCAT-CVD SiN膜でパッシベートした構造について、ナノギャップ間の堆積状態を観察します。 テーマ:CNT成長基部構造の断面観察と組成分析評価、... テーマ:微細電極パターンの形成