装置の利用料金
30分間単位, 2017年4月より適用
| 装置名 | 料金 （学外） | 料金 （学内） |
|---|---|---|
| デバイスシミュレーター | 680円 （技術代行・技術補助込 4,370円） | 330円 |
| スパッタリング装置 | 940円 （技術代行・技術補助込 4,250円） | 550円 |
| FIB-SEM | 5,680円 （技術代行・技術補助込 12,300円） | 1,500円 |
| 電子線蒸着装置 | 960円 （技術代行・技術補助込 4,660円） | 540円 |
| 電子線描画装置 | 2,680円 （技術代行・技術補助込 6,370円） | 1,500円 |
| 走査型プローブ顕微鏡 | 1,520円 （技術代行・技術補助込 5,210円） | 750円 |
| ウェハーダイシングマシン | 600円 （技術代行・技術補助込 4,300円） | 300円 |
| 電界放出型走査電子顕微鏡 | 1,380円 （技術代行・技術補助込 5,080円） | 750円 |
| パターン投影リソグラフィシステム | 480円 （技術代行・技術補助込 3,800円） | 250円 |
| インクジェットパターン形成装置 | 1,420円 （技術代行・技術補助込 5,430円） | 750円 |
| 反応性イオンエッチング | 840円 （技術代行・技術補助込 4,540円） | 540円 |
| マスクアライナー | 200円 （技術代行・技術補助込 3,510円） | 150円 |
| 触針式表面段差計 | 210円 （技術代行・技術補助込 3,900円） | 150円 |
| 半導体特性評価システム | 190円 （技術代行・技術補助込 5,510円） | 80円 |