テーマ:Siナノワイヤトランジスタの電気特性の最適化とそれを実現するデバイス構造のシミュレーションによる検証実験
受託内容:大きな電流密度が実験的に得られているSiナノワイヤトランジスタについて、デバイスシミュレーターを用いて高密度化の理由について確認を行うとともに、さらなる高密度化への構造最適化を行います。また、メタルソース・ドレイン材料の選定とその構造の最適化を行います。これらはデバイス試作の効率化のために先行して行うものです。
利用事例
受託内容:大きな電流密度が実験的に得られているSiナノワイヤトランジスタについて、デバイスシミュレーターを用いて高密度化の理由について確認を行うとともに、さらなる高密度化への構造最適化を行います。また、メタルソース・ドレイン材料の選定とその構造の最適化を行います。これらはデバイス試作の効率化のために先行して行うものです。