データ提供について
マテリアルデータの構造化には、ARIMデータ構造化システムを利用しています。
装置のご利用に伴い創出されたログデータや画像データを
RDE(クラウド上で安全にデータを蓄積・共用するサービス)へ登録することで、
装置固有のソフトウェア等を用いることなく利活用できるようになります。
RDEへの登録にあたり、DICE(物質・材料研究機構が提供するデータプラットフォーム)の
アカウントが必要です。
データの登録、利用に関してそれぞれの詳細をご確認ください。
また、本学におけるデータ登録約款は
こちらです。
(ARIM Japan データ提供ポータルサイトへ) ARIMデータ構造化について
(NIMS提供 DICEポータルサイトへ)DICEアカウントと利用登録について
| 機器ID | 装置名 | 型番 | 登録データ |
|---|---|---|---|
| BA-002 | スパッタリング装置 | CFS-4EP-LL (i-miller) | 加工条件(PDL方式) |
| BA-004 | 電子線蒸着装置 | EB-350T | 加工条件(PDL方式) |
| BA-005 | 電子線描画装置 | ELS-7500EX | 加工条件(PDL方式) |
| BA-008 | 電界放出型走査電子顕微鏡 | SU-8020 | 画像ファイル、測定パラメータ(.txt)、入力データシート(.xlsx) |
| BA-009 | パターン投影リソグラフィシステム | μPG501 | 加工条件(PDL方式) |
| BA-012 | 反応性イオンエッチング装置 | RIE-10NR | 加工条件(PDL方式) |
| BA-015 | X線光電子分光装置 | JPS-9010TR | .vms(.npl) |
| BA-020 | 顕微ラマン | NRS-5100 | .jws |
| BA-026 | 多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS） | PHI VersaProbe ４ |